真空領(lǐng)域?qū)＜覅R聚沈科儀
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2004-06-16 閱讀
來源:張振厚 作者:張振厚
中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司(SKY)創(chuàng)建于1958年。公司前身是中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心.公司以創(chuàng)新為理念。
在真空部件，真空獲得、真空冶金、薄膜制備設(shè)備，分析監(jiān)測儀器等方面不斷創(chuàng)新，使產(chǎn)品與技術(shù)達(dá)國內(nèi)領(lǐng)先水平，獲國家、中科院、省部級科技進(jìn)步獎50余項。參加北京正負(fù)電子對撞機、合肥同步輻射、蘭州重離子加速器、921工程等國家重大科學(xué)工程的建設(shè)，為其提供了創(chuàng)新的方案和先進(jìn)的技術(shù)支持。 這次在東北大學(xué)召開的"2004真空冶金與表面研討會",更是匯聚了真空領(lǐng)域的眾多專家與學(xué)者.會議期間,由中國真空學(xué)會真空冶金專委會組織參觀了沈科儀,對其取得的可喜成就大加贊賞,并提出了寶貴的建議,鼓勵其再接再厲,在真空領(lǐng)域取得更驕人,更廣泛的成績. 專家們對沈科儀研發(fā)生產(chǎn)的激光分子束外延設(shè)備產(chǎn)生了極高的興趣,該設(shè)備外延生長系統(tǒng)真空優(yōu)于6.67×10-8Pa,靶4個可任意切換轉(zhuǎn)速6~150rpm,主要應(yīng)用于研究和確定晶體生長機理及開展表面物理研究，并可生長各種半導(dǎo)體材料，尤其適用于生長高熔點、多元素及復(fù)雜層狀超晶格薄膜材料。也使我國成為繼美、日之后第三個擁有該技術(shù)和設(shè)備的國家。
