【康沃真空網】使用水冷的設備
如果真空設備所在的廠房溫度低于零度，冷卻水可能會在冷卻盤管或通道內結冰，并發生脹裂，對于這種情況，請密切關注冷卻水的進水溫度，在溫度過低時，可以適當調小冷卻水的流量；有些冷卻塔在室外而設備在室內的設備，室外的管路，特別是閥門等處，非常容易結冰堵塞，這種情況需要采取為室外管路纏繞防凍棉等措施，并密切關注通過設備的冷卻水的流量。
在低溫下，潤滑油會變得特別粘稠，甚至發生結沙、結冰等，此時啟動旋片泵會造成電機啟動電流過大甚至燒毀、軸封撕裂損壞、聯軸器損壞甚至轉軸扭斷等故障，在5-10攝氏度啟動油旋片泵時，可以采取點動的方式給電幾次后再讓其連續運轉；一定要避免在低于5攝氏度的環境直接啟動油旋片泵，如果需要在低溫下間歇的使用，可以讓其持續運行以避免低溫啟動；也可以把泵放在溫度比較高的室內一段時間后，啟動并開啟氣鎮運行半個小時以上，然后再轉移到室外并立即啟動。
羅茨泵螺桿泵
羅茨泵、螺桿泵等真空泵一般采用甩油盤把油箱內的油甩到齒輪等處用于潤滑，低溫下油比較粘稠，強行啟動會造成電機啟動電流過大、軸封撕裂損壞等故障，即使能正常啟動，在油溫足夠高之前，甩油盤無法將足量的油甩到齒輪，容易造成齒輪過度磨損，甚至因急劇發熱而卡死。
渦旋干泵
渦旋干泵一般采取干式潤滑的軸承，雖然不太明顯，溫度過低時啟動仍然會有短時潤滑不良、啟動電流過大的問題。另外，渦旋干泵裝配精度很高，因為其工作時動盤和靜盤上的渦旋線需要始終保持一個很小的間隙；在超出要求的低溫條件下，內部的間隙有可能會低于正常值，從而造成異響甚至摩擦損傷。
在低溫下，分子泵的潤滑油或潤滑劑具有很高的粘度（低潤滑作用），可能導致軸承潤滑不良和分子泵啟動電流過大。即使泵看起來啟動正常，也可能會對軸承造成一定的損傷，長期來看，這將影響泵的可靠性。分子泵允許的最低工作溫度一般是5攝氏度，在環境溫度低于5攝氏度時，需要采取一定的加溫措施，并最好采用軟啟動。
檢漏儀
如上所述，檢漏儀內部的油旋片泵或干泵、分子泵等都不能在低溫下啟動，好多的檢漏儀也都在內部集成了溫度傳感器，在溫度低于5度時將無法啟動，從而保護檢漏儀。如果需要在溫度較低的環境使用檢漏儀，可以在室內溫度比較高的環境下啟動，工作半個小時以上再轉移到室外并立即啟動，如果工作環境的溫度非常低，還可以采取包覆保溫棉等保溫措施。
控制器等電子設備
真空計控制器、真空泵控制器及檢漏儀內部很多的電子器件也無法承受低溫，低溫下通電會出現故障，這些設備建議不要在低溫下使用，已經在使用的，盡量不要關機。
