【康沃真空網(wǎng)】羅茨水環(huán)泵真空機(jī)組
這種機(jī)組主泵是羅茨泵，前級泵是水環(huán)泵或油環(huán)泵。主要用于真空壓力浸漬和真空冷凍干燥等設(shè)備中。羅茨水環(huán)泵機(jī)組常見的故障及消除方法見表1。
表1羅茨水環(huán)泵真空機(jī)組常見故障及消除方法
羅茨滑閥泵或羅茨旋片泵機(jī)組
這種真空機(jī)組主泵為羅茨泵，前級泵采用滑閥泵或旋片泵。
在1×10-3~10Pa范圍內(nèi)有大抽速，結(jié)構(gòu)緊湊，消耗功率小。真空機(jī)組常見故障及消除方法見表2。
表2機(jī)組常見故障及消除方法
