【康沃真空網】磁流體密封裝置是利用磁性流體的特性，由磁鐵將磁性流體固定于旋轉軸的周圍，形成液體的“O型密封圈”。由磁鐵、磁極以及軸形成磁回路，在磁極與軸中間注入磁性流體，使其形成數段液體密封圈。所以即使軸是以高速旋轉的情況下，也不發生固體之間的摩擦，是一種壽命非常長的動態密封零件。常用于單晶硅爐、真空釬焊爐、真空熔煉爐、化學氣相沉積、離子鍍膜、液晶再生等真空設備的密封，以及高溫高壓設備及對環境要求較高的設備的密封。
1 磁流體
1.1 磁流體的組成
1995年由美國帕佩爾（Papell）發明的磁性流體，是把磁鐵礦等強磁性的微細粉末（約100 ）在水、油類、酯類、醚類等液體中進行穩定分散的一種膠態液體。這種液體具有在通常離心力和磁場作用下，既不沉降和凝聚又能使其本身承受磁性，可以被磁鐵所吸引的特性。
磁流體由3種主要成分組成：
1）固體鐵磁體微粒（Fe3O4）；
2）包覆著微粒并阻止其相互凝聚的表面活性劑（穩定劑）；
3）載液（溶媒）。
1.2 磁流體的特性
磁流體是一種叫膠體溶液。作為密封用的磁流體，其性能要求是：穩定性好，不凝聚、不沉淀、不分解；飽和磁化強度高；起始磁導率大；粘度和飽和蒸氣低，其他如凝固點、沸點、導熱率、比熱和表面張力等也有一定的要求。
影響磁流體穩定的主要因素有：微粒力度大小、表面活性劑和載液以及它們的合理配比。穩定性是磁流體各種特性存在的前提。
2 磁流體密封的工作原理
圓環形永久磁鐵，極靴和轉軸所構成的磁性回路，在磁鐵產生的磁場作用下，把放置在軸與極靴頂端縫隙間的磁流體加以集中，使其形成一個所謂的“O”形環，將縫隙通道堵死而達到密封的目的。這種密封方式可用于轉軸是磁性體和轉軸是非磁性體兩種場合。前者磁束集中于間隙處并貫穿轉軸而構成磁路，而后者磁束比不通過轉軸，只是通過密封間隙中的磁流體而構成磁路。
2.3 極限條件
磁流體密封在工作時會受到下列條件的限制：
1）蒸發。磁流體由磁性微粒、表面活性劑和載液3部分組成，載液的蒸發是決定密封極限旋轉頻率和使用壽命的主要因素。因為密封是靠有限的磁流體工作的。為此，應選用蒸汽壓低的載液，使蒸發損失為最小值。
2）溫升。溫度升高會導致磁鐵退磁和磁流體的蒸發。因為溫度升高，粘度降低，功率消耗也就降低，這是有利的一面。但是溫度的、升高，磁飽和強度下降，也可能使密封的耐壓能力有些下降，因此，磁流體溫度一般不應高于105℃，否則應采用冷卻措施。
3）極限真空度。磁流體密封極限真空度取決于載液的揮發度，用二脂潤滑劑作成的載液可滿足1.333×10-7Pa超高真空技術的要求。
4）周速。一般磁流體密封適用于高周速30m/s以上的運轉，無極限標志。但考慮到溫度和散熱，周速應限制在60～80m/s，此時還要考慮極限耐壓能力。
3.應用
1.磁流體密封裝置除了可以用于常規10^-6Pa的真空度，也能達到10^-9Pa超高真空的環境。
2.磁流體密封裝置可以用于對腐蝕性氣體進行密封，多用在半導體設備上。
