【康沃真空網(wǎng)】一、真空泵綜述
真空泵是真空獲得設(shè)備中的主要種類，用于獲得、改善和（或）維持真空環(huán)境。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。真空技術(shù)主要是建立低于大氣壓力的物理環(huán)境，以及在此中進行工藝制作、物理測量和科學試驗等所需的技術(shù)獲得的真空度可以分為四檔。
按照工作原理的不同，真空泵分為氣體傳輸泵和氣體粘合或捕集泵兩大類，其中氣體傳輸泵的市場規(guī)模占比約為65%。其中氣體傳輸泵分類方式又多種多樣，具體情況如下：
二、泵行業(yè)相關(guān)政策梳理
泵廣泛應用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)及生活領(lǐng)域的通用機械，泵行業(yè)不僅受相關(guān)法律法規(guī)的保護和規(guī)范，同時受相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策的引導和支持。與泵行業(yè)相關(guān)的法律法規(guī)有：《中華人民共和國質(zhì)量法》《中華人民共和國水法》《中華人民共和國農(nóng)業(yè)法》《中華人民共和國農(nóng)業(yè)技術(shù)推廣法》《中華人民共和國農(nóng)業(yè)機械化促進法》等。
資料來源：政府公開報告，華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院整理
三、真空泵產(chǎn)業(yè)鏈
從真空泵產(chǎn)業(yè)鏈來看，上游是關(guān)鍵零部件主要包括導管、保溫罩和加熱器；下游真空泵被廣泛應用于制藥、化工、食品、電子等行業(yè)。
真空泵產(chǎn)業(yè)鏈
四、真空泵行業(yè)現(xiàn)狀分析
1、供需情況
從產(chǎn)量上來看，近年來我國真空泵產(chǎn)量持續(xù)下降。據(jù)中國通用機械協(xié)會數(shù)據(jù)，2020年我國真空泵產(chǎn)量為526.64萬臺，同比下降24.40%。
資料來源：中國通用機械協(xié)會，華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院整理
從全球真空泵應用領(lǐng)域來看，2019年半導體領(lǐng)域是規(guī)模最大的下游市場，占比37%，規(guī)模約17.3億歐元。2020年以來真空泵行業(yè)結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)型趨勢明顯，干式螺桿真空泵的出現(xiàn)替代了大部分油螺桿真空泵，在制藥、醫(yī)療器械、半導體行業(yè)均有應用。
2、細分市場情況
真空泵為光伏設(shè)備的關(guān)鍵部件之一。光伏電池主要分為四大流程：硅料制程、硅片制程、電池片制程和組件制程。真空泵主要應用于硅片拉晶，電池片高方阻擴散（低壓擴散爐）和PVD、PECVD鍍膜工藝，組件層壓環(huán)節(jié)等。設(shè)備中的真空穩(wěn)定性是工藝穩(wěn)定的關(guān)鍵技術(shù)之一，以電池片鍍膜為例，真空鍍膜技術(shù)的優(yōu)點有：薄膜厚度可進行控制，以制備具有各種不同功能的功能性薄膜；環(huán)境清潔，薄膜不易受到污染，因此可獲得致密性好、純度高和涂層均勻的薄膜。
從硅片真空泵市場需求來看，2022/2023年全球硅片環(huán)節(jié)真空泵市場將達13.3/14.2億元，其中新增裝機市場10.5/10.4億元，維修市場2.8/3.8億元；從電池片真空泵市場需求來看，2022/2023年電池片環(huán)節(jié)真空泵市場將達13.8/12.5億元，其中新增裝機市場8.7/5.3億元，維修市場5.1/7.2億元，維修和替換需求將貢獻更多市場增量。
干式真空泵是半導體各制程中必備的通用設(shè)備，應用于單晶拉晶、Load-Lock、刻蝕、CVD、原子層沉積（ALD）、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。從市場空間來看，2022年全球半導體用干式真空泵市場將達196.4億元，同比增長9.3%。
3、進出口現(xiàn)狀
“真空泵”海關(guān)編碼“84141000”。從進出口貿(mào)易來看，2021年我國真空泵進口數(shù)量為282.8萬臺，進口金額為10.49億美元；出口數(shù)量為1175.5萬臺，出口金額為4.22億美元。
資料來源：中國海關(guān)，華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院整理
從進口金額地區(qū)分布情況來看，我國主要向日本、德國、韓國進口高精密真空泵，三個地區(qū)進口金額占比分別為29.19%、19.08%、18.34%。
資料來源：中國海關(guān)，華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院整理
五、真空泵市場競爭格局
1、整體市場
目前真空泵主要市場由歐洲、日本企業(yè)主導，分別是Edward(被Atlas收購，英國)、Ebara(荏原，日本)、Pfeiffer Vacuum（普發(fā)，德國）、Kashiyama(堅山工業(yè)，日本)，國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域企業(yè)則包括中科儀、漢鐘精機等。2019年全球真空市場三大公司占據(jù)全球市場份額88%，行業(yè)集中度較高。
具體企業(yè)介紹及經(jīng)營情況如下：
2、細分市場
從光伏真空泵市場競爭格局來看，國內(nèi)廠商漢鐘精機占據(jù)較大市場份額。據(jù)統(tǒng)計，2021年全球光伏真空泵市場競爭各句中，漢鐘精機市場占比73.88%，其中拉晶環(huán)節(jié)市占率較高，電池片環(huán)節(jié)仍有一定提升空間。
從半導體真空泵市場競爭格局來看，海外廠商占據(jù)95%的市場份額，主要由Atlas（2021年半導體真空泵收入約105億元）和Pfeiffer（2021年半導體真空產(chǎn)品收入約25億元）占據(jù)，國內(nèi)廠商市場份額不到5%，目前漢鐘精機已在聯(lián)電、力積電等取得突破，未來有較大的國產(chǎn)替代空間。
六、真空泵未來發(fā)展趨勢
1、光伏裝機持續(xù)高增長，帶動光伏真空泵市場需求。根據(jù)CPIA數(shù)據(jù)，2021年全球光伏新增裝機170GW，創(chuàng)歷史新高。其中，我國光伏新增裝機54.88GW，同比增長13.9％；歐盟新增裝機25.9GW，同比增長近34％；美國預計新增裝機近26.8GW，預期同比增長約39.6％；印度新增裝機11.89GW，同比增長218％左右。2022年，在光伏發(fā)電成本持續(xù)下降推動下，全球光伏新增裝機仍將快速增長，保守情況下預計2025年全球/我國新增裝機量為270/90GW。
2、隨著全球半導體市場的穩(wěn)步增長，干式真空泵在半導體領(lǐng)域的應用市場空間不斷增長。干式真空泵是半導體各制程中必備的通用設(shè)備，應用于單晶拉晶、Load-Lock、刻蝕、CVD、原子層沉積（ALD）、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。據(jù)統(tǒng)計，2021年全球晶圓產(chǎn)能2.43億片（折算成8英寸），增長8.5%，預計2022年將增長8.7%，達2.64億片，新增晶圓開工量創(chuàng)歷史新高，產(chǎn)能利用率有望維持在93%的高水平。
