由于真空爐的種類和型式很多，因此維護和檢修的項目各不相同，維修檢查內容應根據爐子技術文件并可按實際需要分為每爐次、每日、每月，每半年和每一年進行的項目。
一、日常檢修
1、對有氣鎮功能的其空泵，應在每日開爐前檢查并根據需耍開啟30min，以排除泵油中的水分。
2、經常檢查冷卻水、壓縮空氣、液壓系統的壓力以及冷卻水的流動情況。
3、對爐門的橡膠密封件和法蘭面應在關護門之前進行檢查，不能有砂粒和雜物，用千凈繃布擦拭橡膠密封圈及法蘭面，再均勻涂上真空脂后方可關閉爐門。
4、真空爐工件入爐處理前必須清洗。油淬處理后應將浸過油的料框、運載部件上的油全部清洗干凈。
5、風冷電機一般為常用電機，在真空下不能啟動一定要充氣以后才能啟動并應有電氣聯鎖保護裝置保護。
6、羅茨泵應在133Pa以上的真空度才能啟動，也應有電氣聯鎖保護裝置保護。
另外對有壓縮空氣的管路，每天應開啟排水閥放出積水。經常注意冷卻水的進出水溫指示是否正常，經常檢查觸摸電極接頭、爐門、變壓器冷卻水管等部位是否有局部升溫異常情況。
二、故障現象故障原因、處理辦法
1、真空度低：泵油污染、過少或過稀，清洗真空泵，更換新真空泵油。
2、抽氣時間太短：延長抽氣時間。
3、抽氣過濾器堵塞：清洗或更換排氣過濾器。
4、有漏氣處：抽空后關閉電源，檢查電磁閥、管接頭、真空泵吸氣閥及工作室周邊密封墊有無漏氣處。
5、噪音大：真空泵聯軸器磨損或破裂，更換。
6、排氣過濾器堵塞或安裝位置不正：清洗或更換排氣過濾器并安裝正確。
7、真空泵噴油：吸氣閥O型圈脫落，拔下泵嘴上的真空管，卸下抽氣嘴，取出壓簧和吸氣閥，輕輕拉伸O型圈幾次，重新將其嵌入凹槽內，再安裝即可。
8、旋片磨損：更換旋片。
9、真空泵漏油：回油閥堵塞，卸下回油閥，清洗(詳見說明書)。
10、油窗松動：放油后，卸下油窗，纏上生料帶或薄塑料薄膜。
