來源:真空技術網
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【康沃真空網】研究了退火工藝對金屬-絕緣體-金屬( MIM) 器件( Al-Al2O3-Ti /Au 結構) 的發射特性的影響。在對MIM 器件Ti /Au頂電極進行退火處理后，金屬離子滲入絕緣層形成摻雜，器件發射電流密度提高，有效發射面積增大，并有較高發射效率，在加速電壓200 V，器件偏置電壓13.5 V 時電子發射電流密度達到1056.6 μA/...
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