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【康沃真空網】基于磁控濺射磁性薄膜存在鐵磁性靶材難以正常濺射的問題，本文從改善靶材的制備工藝，提高靶材表面漏磁率出發，結合Co-Cr-Ta 合金的差示掃描量熱法曲線，采用不同的熱處理制度對Co-Cr-Ta 合金進行了熱處理，并測定了不同熱處理制度下Co-Cr-Ta 合...
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