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常見真空鍍膜技術(shù)分類
標(biāo)簽: 真空鍍膜
2024-04-16  閱讀

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康沃真空網(wǎng)】常見的真空鍍膜工藝分成四類:真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜和化學(xué)氣相沉積。它們各有優(yōu)勢(shì)和針對(duì)性,如何選擇合適的真空鍍膜成為了生產(chǎn)企業(yè)發(fā)展和創(chuàng)新中的一道必選題。

    一、真空蒸發(fā)鍍膜

    真空蒸發(fā)(VacuumEvaporation)鍍膜是在真空條件下,用蒸發(fā)器加熱蒸發(fā)物質(zhì),使之升華,蒸發(fā)粒子流直接射向基片,并在基片上沉積形成固態(tài)薄膜,或加熱蒸發(fā)鍍膜材料的真空鍍膜方法。

    優(yōu)點(diǎn):設(shè)備簡(jiǎn)單、操作容易;薄膜純度高、厚度可較準(zhǔn)確控制;成膜速率快,效率高。

    缺點(diǎn):密度差(只能達(dá)到理論密度的95%);薄膜附著力較小。

    目前,真空蒸發(fā)鍍膜更多的應(yīng)用于建筑工程五金、衛(wèi)浴五金、鐘表、小五金,甚至輪轂、不銹鋼型材、家具、照明設(shè)備及酒店用品、裝飾品的表面處理。

    二、真空濺射鍍膜

    用幾十電子伏或更高動(dòng)能的荷能粒子轟擊材料表面,使其原子獲得足夠高的能量而濺出進(jìn)入氣相,這種濺出的、復(fù)雜的粒子散射過程稱為濺射。真空濺射鍍膜就是利用濺射現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)制取各種薄膜。

    優(yōu)點(diǎn):膜厚可控性和重復(fù)性好;與基片的附著力強(qiáng);膜層純度高質(zhì)量好;可制備與靶材不同的物質(zhì)膜。

    缺點(diǎn):成膜速度比蒸發(fā)鍍膜低;基片溫度高;易受雜質(zhì)氣體影響;裝置結(jié)構(gòu)較復(fù)雜。

    目前最常用的濺射鍍膜技術(shù)是磁控濺射鍍膜技術(shù)。這種技術(shù)能增加與氣體的碰撞幾率,提高靶材的濺射速率,最終提高沉積速率。因此更適用于具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的功能性薄膜、裝飾領(lǐng)域、微電子領(lǐng)域。

    三、真空離子鍍膜

    真空離子鍍膜是在真空蒸發(fā)鍍和濺射鍍膜的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種鍍膜新技術(shù)。通過在等離子體中進(jìn)行整個(gè)氣相沉積過程,真空離子鍍膜工藝大大提高了膜層粒子能量,可以獲得更優(yōu)異性能的膜層,擴(kuò)大了“薄膜”的應(yīng)用領(lǐng)域。

    優(yōu)點(diǎn):附著力強(qiáng),不易脫落;改善了膜層的覆蓋性;鍍層質(zhì)量高;成膜速度快;密度高、晶粒小。

    缺點(diǎn):基板須是導(dǎo)電材料。

    由于鍍膜性能出色,真空離子鍍膜有著更廣的應(yīng)用領(lǐng)域,目前主要應(yīng)用于:機(jī)械零件、飛機(jī)、船舶、汽車、排氣管、飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)、高速轉(zhuǎn)動(dòng)件、工具、超硬工模具等。