【康沃真空網】超高真空鍍膜機的清洗處理是非常重要的,鍍膜機的清洗處理是否到位,將直接影響到極限真空環境的獲得。使用良好的清潔處理工藝比之一般的清洗處理工藝,其設備材料的出氣率要低了幾個數量級。
比如說不銹鋼材料的真空設備,它長期不斷在大氣中暴露,不進行任何清洗、去油處理、烘烤處理的話,其在抽氣一小時后約為2x10[Pa·m/(s·m)]的出氣率;若做了去油處理,不做烘烤處理,其在抽氣四小時后可到1 x 10[Pa·m(s· m)]的出氣率;如果去油后,再做清洗,又在250C的溫度之下烘烤十五個小時的話,即可降到1 X 10[Pa·m/(s·m)]的出氣率,可以發現,其出氣率下降了近五個數量級之多。
通常需要做烘烤處理,對超高真空環境的獲得來說,真空烘烤是不可缺少的工藝。一套合格的真空設備的設計,若少了烘烤措施,也沒有其它相關措施的處理的話,那么不管配置任何類型的真空泵(如擴散泵、低溫泵、濺射離子泵、渦輪分子泵等)做抽氣處理,最終獲得的工作壓力也就大概在10Pa-10Pa這個數量級之間,頂多可達極限真空10Pa的量級,想要再高的真空度那就是天方夜譚。
針對于不銹鋼,加速出氣的方法有兩種是最有效的:
1、在400C溫度下的空氣中烘烤;
2、在800C-950C下的真空環境烘烤。
烘烤處理工藝需要在2700Pa壓力下的純氧環境中進行,才能減少烘烤過程中存在水蒸氣影響到材料表面的可能,此外,還需明確真空烘烤應在10Pa下進行,才能讓材料中的氫濃度降低到我們需要得到的最低限度。