光學(xué)真空鍍膜設(shè)備主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組限及電柜（控制電柜、電子槍電樞）組成，其廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。光學(xué)真空鍍膜設(shè)備在防止油污染和縮短工作周期等方面具有卓越的性能。
光學(xué)真空鍍膜設(shè)備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當?shù)臏囟龋牧鲜軣岷笳舭l(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大，蒸發(fā)出來的蒸汽分子向四處直射，碰到基片就沉積在基片表面形成臘層。
精密光學(xué)真空鍍膜設(shè)備在保養(yǎng)的時候有哪些保養(yǎng)方面的措施，下面的內(nèi)容中我們就來了解。
真空鍍膜機擴散泵油使用一段時間，約二個月兩班：，因在長期高溫環(huán)境，雖然較高真空時才啟動擴散泵，但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應(yīng)，擴散泵油在高溫下也可能產(chǎn)生裂解，使其品質(zhì)下降，而延長抽氣時間。在我們認為時間延長得太多時，應(yīng)予更換。
二、真空泵
真空鍍膜機機械泵油、維持泵油在使用二個月，油質(zhì)會發(fā)生變化。因油可能抽入水分、雜質(zhì)及其它原因，而使用油粘性變差，真空下降，故需要更換。如為新設(shè)備，在使用頭半個月即應(yīng)更換，因在磨合期，油含磨合鐵粉較多，會加劇磨損。
三、清潔衛(wèi)生
定期將真空鍍膜設(shè)備及其周圍環(huán)境衛(wèi)生搞好，常保持設(shè)備內(nèi)外清潔，將真空鍍膜設(shè)備周圍環(huán)境整理有條，有一個好的工作環(huán)境，以保安全。
