真空鍍膜機高壓電源部分故障分析
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，光電技術(shù)的應(yīng)用已經(jīng)深入到各行各業(yè)。真空鍍膜機廣泛用于電子元件產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)和發(fā)展中。下面，簡單介紹一下真空鍍膜機的高壓電源部分的典型故障。
故障：
1、增加電子束流時，高壓沒有指示
①束斑的位置不在中心，電子束打到坩堝的邊緣，造成高壓無指示；
②束斑的位置在中心，蒸鍍的材料被打穿，造成高壓無指示。
2、無束流時，高壓指示不穩(wěn)定
①負(fù)載有問題；
②負(fù)載正常，高壓電源問題；
③真空室內(nèi)有污染。若是真空室污染，可將電子槍、坩堝、高壓電極進行徹底清洗，若還沒解決，將鐘罩內(nèi)的零件及鐘罩都徹底清洗。
排除方法：
用高壓表測量高壓的部分輸出的電壓，檢查是否正常，若正常，用替換的方法或其他方法檢查自動復(fù)位部分的主開關(guān)電路是否正常，若不正常就說明是該部分的電路問題。消除故障，使高壓指示恢復(fù)正常。
