真空鍍膜設(shè)備低溫泵的一般分類
按照介質(zhì)的供應(yīng)方式，低溫泵分為以下幾種類型：
貯槽式低溫泵：低溫介質(zhì)(液氦)直接注入泵內(nèi)貯槽，使氣體冷凝達到抽氣目的。
貯槽式低溫泵優(yōu)點是泵的體積小、無振動、無噪聲、操作簡便，適用于大專院校及科研單位和高能加速器等大型真空工程。
貯槽式低溫泵缺點是運轉(zhuǎn)費用高，每次加注低溫介質(zhì)的使用時間短，需長期連續(xù)運轉(zhuǎn)的真空系統(tǒng)要定期補充工作介質(zhì)，并且受到低溫介質(zhì)供應(yīng)條件的限制。
流程低溫泵：泵中低溫板冷卻管和制冷膨脹機相聯(lián)接，低溫介質(zhì)(氣氦)通過外管路供給低溫泵，吸收低溫板熱量后再回到制冷壓縮機，形成封閉循環(huán)，這種低溫泵的體積龐大、管路復(fù)雜、管路冷損較大。
流程低溫泵優(yōu)點是制冷功率大，z*適宜抽除大氣量或大型真空室，廣泛用于空間環(huán)模設(shè)備、受控熱核反應(yīng)裝置、火箭發(fā)動機高空點火試驗以及低壓空氣動力學(xué)試驗等。
小型制冷機低溫泵：閉循環(huán)小型制冷機低溫泵是由低溫泵體、抽氣低溫板、輻射屏蔽板、制冷機和壓縮機等部分組成。
小型制冷機低溫泵和流程低溫泵的z*大區(qū)別是制冷機一、二級冷頭直接和輻射屏、冷板相連，在制冷機與壓縮機連接管路中流動的是常溫、高(或低)壓氣體介質(zhì)，不存在低溫介質(zhì)的輸送問題，兼有流程低溫泵和貯槽式低溫泵的各項優(yōu)點，是當前比較理想的清潔超高真空泵。
小型制冷機低溫泵廣泛用于薄膜制備、微電子學(xué)技術(shù)、高能物理、小型環(huán)模設(shè)備以及其它各工業(yè)領(lǐng)域。
