點贊
收藏
-- 分享到 --
微信掃一掃分享
QQ掃一掃分享
微博掃一掃分享
提出了基于數字模擬的等離子體增強化學氣相沉積(PECVD) 沉積氮化硅薄膜的工藝參數決策方法。氮化硅薄膜的主要影響因子和質量特性參數通過領域知識和專家意見先期獲得，通過單因素物理試驗獲得工藝參數和質量特性參數之間的關系，通過數字模擬的正交試驗獲得z*佳的工藝參數。考慮到PECVD沉積氮化硅薄膜實驗所需的時間和費用，基于數字模擬的PECVD沉積氮化硅薄...
合作主辦
能動傳媒 | 壓縮機網 | 西安交通大學
網絡服務 | 版權聲明 | 聯系我們 | 網站地圖
? 2001-, 版權所有 西安朗威網絡技術有限公司 陜ICP備12001613號-9
發求購
發供應
發招聘
回頂部
