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應用于工具鍍膜的磁場輔助離子鍍弧源及其放電特性分析
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2015-04-07  閱讀

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針對幾種應用于工具鍍膜的磁場控制的電弧離子鍍弧源,分析了其結構、工作原理以及弧斑運動、放電特性;比較了不同磁場輔助受控弧源的靶結構及磁場位形,并討論了對弧斑運動、放電及鍍膜工藝的影響;對磁場控制的電弧離子鍍弧源的發展進行了展望。 提高工具、模具的加工質量和使用壽命一直是人們不斷探索的課題。電弧離子鍍技...