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研究了不同通氧量對(duì)電子束蒸發(fā)沉積二氧化鈦薄膜的光學(xué)性能影響。隨著氧氣流量從37.4×10-3 Pa·m3·s-1增加到61.2×10-3 Pa·m3·s-1，真空室的真空度從1.4×10-...
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