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離子鍍膜技術的進展
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2014-11-17  閱讀

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  【康沃真空網】本文概括地介紹了五十年來離子鍍膜技術的發展概況,介紹了離子鍍膜技術的意義、原理、特點、發展和應用范圍。從D.M.Mattox 發明離子鍍膜技術以來的五十年中,離子鍍膜技術適應高端產品加工和高新技術發展的要求,得到了飛速發展。各種激勵氣體放電過程技術,提高等離子體密度的措施層出不窮,滿足各種需要的新的薄膜材料在各個應用領域得到了廣泛的應用。對國防事業、宇航事業、高新技術產品和美化人民生活做出了突...